質(zhì)譜儀中主要包括離子源、離子傳輸系統(tǒng)、質(zhì)量分析器、離子檢測器、數(shù)字控制與信號采集系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)：

（1）離子源主要完成樣品分子的解吸與離子化過程，離子化過程有多種途徑，樣品可以是氣相的，液相的或固態(tài)的。進樣系統(tǒng)中的樣品量和電離化效率有利于提高儀器的靈敏度，保證儀器的整體性能。

（2）離子傳輸系統(tǒng)分為大氣壓接口和離子聚焦兩個部分，離子通過傳輸系統(tǒng)進入質(zhì)量分析器。

（3）質(zhì)量分析器是儀器的核心部件，從時間、空間或者頻率上來分離不同質(zhì)荷比的離子。

（4）離子檢測器檢測離子的種類和豐度。

（5）真空系統(tǒng)維持著從離子化過程、質(zhì)量分析過程、質(zhì)量檢測過程中各個環(huán)節(jié)的氣壓條件，不同類型儀器對真空條件的要求有很大區(qū)別。

（6）數(shù)字控制與信號采集系統(tǒng)控制進樣、離子導(dǎo)引、質(zhì)量分析、離子檢測、工作氣壓等過程。