熱式流量計(jì)主要應(yīng)用于測(cè)量氣體。

優(yōu)點(diǎn)如下：

(1)對(duì)流體流動(dòng)影響較小，熱分布型熱式流量計(jì)更是將傳感元件置于管壁中，對(duì)流體沒有阻擾。

(2)熱式流量計(jì)的測(cè)量量程寬，且量程比高。

(3)采用直接測(cè)量法，不需要對(duì)流體溫度壓力進(jìn)行補(bǔ)償，因此測(cè)量更加精確和簡(jiǎn)便。

(4)熱式流量計(jì)能測(cè)量單原子氣體、雙原子氣體以及混合氣體。

(5)測(cè)量溫度和壓力范圍寬，且耐腐蝕性。

(6)靈敏度高，能測(cè)量超小流速氣體。

(7)準(zhǔn)確性和重復(fù)性好。

(8)一般管道內(nèi)只有傳感元件器件，組成簡(jiǎn)單，安裝不需要復(fù)雜的工藝，出現(xiàn)故障概率小[13]。(9)應(yīng)用范圍廣，如應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工藝、化學(xué)、生物、天然氣、石油化工、鍍膜工藝、燃料電池工廠、煤粉燃燒過程粉/氣配比控制等場(chǎng)合。

缺點(diǎn)如下：

(1)熱電阻加熱到穩(wěn)定值需要時(shí)間，因此測(cè)量之前需要一定的預(yù)熱和穩(wěn)定時(shí)間。

(2)可測(cè)量干燥氣體，測(cè)量液體或固體的熱式流量計(jì)還未實(shí)現(xiàn)。對(duì)于含有雜質(zhì)的氣體或混合氣體需要進(jìn)行補(bǔ)償，且沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。

(3)氣體物性參數(shù)會(huì)影響測(cè)量精度、響應(yīng)時(shí)間和重復(fù)性等。當(dāng)濕度或氣體組分發(fā)生變化，如果沒有有效的補(bǔ)償措施會(huì)對(duì)熱式流量計(jì)性能指標(biāo)造成很大影響。

(4)流體帶走傳感元件熱量，通過熱量的變化便可得到氣體流量，然而傳感元件一部分熱量傳遞給管道，在實(shí)際測(cè)量中忽略了這一部分的熱量，使得測(cè)量結(jié)果有一定的誤差。